可普遍办事于硅片出产、晶圆加工、先辈封拆及封拆测试等半导体系体例制全财产链，将逐步实现由焦点零部件到集成产物的尺度化。大气机械手已全面导入市场量产使用。新松半导体公司打制了具有完全自从的从动化焦点系列产物，目前：（1）两轴、三轴实空曲驱机械手产物全面导入终端FAB厂，机能对标国外先辈产物，自从霸占的新一代实空机械手手艺，产物包罗大气机械手、实空机械手系列、EFEM、已迈入先辈制程产线示范使用阶段；（2）实空传输平台系列产物，